Produktübersicht
SCD6 und SCD6S sind kompakte automatische 6-Zoll-Spin-Coater- und Entwicklersysteme für die Herstellung von Verbindungshalbleitern, Leistungsgeräten, MEMS und optoelektronischer Elektronik.
SCD6: Gezielt für die Herstellung von Stromversorgungsgeräten und LEDs. Es verfügt über eine kompakte Struktur, unterstützt Substrate wie Si, Saphir, GaAs, GaN, SiC, InP, LT, LN und ist für G-Linien-/i-Linien-Prozesse geeignet.
SCD6S: Ausrichtung auf MEMS, integrierte HF-Schaltkreise, optische Kommunikation und Laborforschung. Es erweitert die Materialkompatibilität zu Glas und fügt PI-Prozessfähigkeit hinzu, was eine höhere Flexibilität für verschiedene Forschungs- und Entwicklungs- und Pilotproduktionsaufgaben bietet.
Beide Modelle zeichnen sich durch geringe Stellfläche, Kompatibilität mit zwei{0}Größen ohne Austausch von Teilen, präzise Zuführung der Fotolack-Dosierpumpe und umfassende integrierte{1}Funktionen wie EBR, BSR und automatische{2}Düsenreinigung aus.
Vorteile
Modelldifferenzierung für verschiedene Szenarien SCD6 optimiert für Strom-/LED-Massenproduktion; SCD6S bietet PI-Prozess- und Glassubstratunterstützung für MEMS-, HF- und forschungsorientierte Benutzer.
Flexible optionale Module unterstützen die Steuerung der Fotolack-/Entwicklertemperatur und das HMDS-Dampfprimermodul zur Anpassung an verschiedene Prozessanforderungen.
Vollständige Rückverfolgbarkeit. Langzeitspeicherung von Geräteausfallprotokollen und Prozessparameteraufzeichnungen, praktisch für die Qualitätsverfolgung und Prozessanalyse.
Umfassende Standardprozessfunktionen. Integrierte EBR-, BSR- und RRC-Funktionen sowie automatische Befeuchtungs- und Reinigungsfunktionen für die Leimdüse sorgen für eine stabile Lithografiequalität.
Hochpräzise Photoresist-Zufuhr Präzisionsdosierpumpe für Photoresist-Zufuhr, hohe Dosiergenauigkeit und stabile Flüssigkeitszufuhr; Einfache Rezepteinrichtung für die Dosiermenge.
Parameter
|
Artikel |
SCD6 |
SCD6S |
|
Modell |
SCD6 6-Zoll Spin Coater und Entwickler |
SCD6S 6-Zoll Spin Coater und Entwickler |
|
Wafergröße |
6-Zoll (150 mm), Dual-Size-kompatibel ohne Teileaustausch |
6-Zoll (150 mm), Dual-Size-kompatibel ohne Teileaustausch |
|
Substratmaterial |
Si, Saphir, GaAs, InP, GaN, SiC, LT, LN |
Si, Glas, Saphir |
|
Kammerkonfigurationen |
2C2D / 4C / 4D |
3C / 4C / 6D |
|
Unterstützter Lithographieprozess |
G-Linie, i-Linie |
G-Linie, i-Linie, PI |
|
Geräteabmessungen (B × T × H) |
1050 × 1900 × 2200 mm |
1500 × 1450 × 2200 mm |
|
Optionale Einheiten |
Temperaturregelung für Fotolack/Entwickler, HMDS-Modul |
Temperaturregelung für Fotolack/Entwickler, HMDS-Modul |
|
Integrierte-Kernfunktionen |
EBR, BSR, RRC, automatische Düsenbefeuchtung und -reinigung |
EBR, BSR, RRC, automatische Düsenbefeuchtung und -reinigung |
|
Steuermodus |
Lokale Steuerung, langfristige Speicherung von Rezepten und Fehlerprotokollen |
Lokale Steuerung, langfristige Speicherung von Rezepten und Fehlerprotokollen |
|
Zertifizierung |
Konform mit SEMI S2 |
Konform mit SEMI S2 |
FAQs
F: Was ist der Unterschied zwischen SCD6 und SCD6S?
A: SCD6 ist für die Massenproduktion von Leistungsgeräten und LEDs optimiert und unterstützt verschiedene Verbindungshalbleitersubstrate (Saphir, GaN, SiC usw.) mit G-Line-/i-Line-Prozessen. SCD6S fügt PI-Prozessfähigkeit und Glassubstratkompatibilität hinzu und eignet sich besser für MEMS-, RF-IC-, optische Kommunikations- und Labor-F&E-Szenarien. Auch Kammerkonfigurationen und physikalische Abmessungen sind unterschiedlich.
F: Unterstützen SCD6/SCD6S den Wechsel der Wafergröße?
A: Ja. Beide Modelle unterstützen die Kompatibilität mit zwei Größen, ohne dass Ersatzteile ausgetauscht werden müssen, was die Produktwechselzeit verkürzt.
F: Welche optionalen Module können ausgewählt werden?
A: Das Temperaturkontrollmodul für Fotolack und Entwickler sowie das HMDS-Vorbereitungsmodul sind sowohl für SCD6 als auch für SCD6S verfügbar.
F: Kann die Maschine den Prozess- und Fehlerverlauf speichern?
A: Ja. Prozessparameter und Gerätefehleraufzeichnungen können zur Qualitätsrückverfolgung und Prozessfehlerbeseitigung langfristig gespeichert werden.
F: Sind sie für die Massenproduktion oder nur für den Laborgebrauch geeignet?
A: Beide unterstützen die Massenproduktion in Kleinserien sowie die Forschung und Entwicklung im Labor. SCD6 ist stärker auf die Massenfertigung von Strom-/LED-Produkten ausgerichtet. SCD6S eignet sich für Pilotproduktions- und Forschungsprojekte.
Beliebte label: 6-Zoll-Spin-Coater und Entwickler, Hersteller und Zulieferer von 6-Zoll-Spin-Coatern und Entwicklern in China
