Das dreidimensionale optische Profilometer ermöglicht Präzisionsmessungen im Mikrometer- bis Nanometerbereich durch Weißlichtinterferenz oder konfokale Technologie und analysiert die dreidimensionale Morphologie, Rauheit und Kontur fester Materialoberflächen. Dieses Instrument verfügt über berührungslose Messeigenschaften, wodurch eine Beschädigung der gemessenen Oberfläche vermieden wird, und ist für verschiedene Materialien wie transparent/Metall/hochreflektierend geeignet. In den Bereichen mechanische Fertigung, Halbleiter, Luft- und Raumfahrt usw. werden optische 3D-Profilometer häufig in der Qualitätskontrolle, Prozessüberwachung und Produktentwicklung eingesetzt.
Bis 2025 werden Mainstream-Modelle wie ZeGage Pro und SuperViewW1 sowohl über seismische Leistung als auch über automatisierte Messfunktionen verfügen, wobei die Messgenauigkeit die 0,1-nm-Marke überschreitet. Zu den Funktionen des Instruments gehören die Analyse der Mikromorphologie, die Krümmungsberechnung und die Erkennung von Dünnschichteigenschaften, die der Norm ISO 25178 entsprechen und zum zentralen Erkennungsgerät für die moderne Präzisionsfertigung geworden sind
