Das 3D-Mikroskop ist ein hochpräzises Instrument zur Analyse der Oberflächenmorphologie mit einem Messbereich im Nanometer- bis Millimeterbereich, mit dem Parameter wie Rauheit, Stufenhöhe und Oberflächenprofil analysiert werden können. Dieses Instrument nutzt zerstörungsfreie Prüftechnologie und stellt keine besonderen Anforderungen an die Oberflächensteifigkeit der Probe. Es zeichnet sich durch schnelles Scannen und hohe Stabilität aus. Die 2025 eingeführte Miracle Vision-Serie integriert optische Systeme und intelligente Algorithmen, unterstützt 2D-Mess- und 3D-Rekonstruktionsfunktionen und wird in Bereichen wie Halbleitern, Biochips und Präzisionsbearbeitung eingesetzt.
Technische Eigenschaften
Optischer Vergrößerungsbereich 108x-17280x, unterstützt rotierende 3D-Beobachtungsfunktion.
Einsatz intelligenter Nivelliertechnologie und regionaler Navigationsfunktion zur Verbesserung der Messeffizienz.
Die Messgenauigkeit bleibt innerhalb von ± 2 % des Messwerts (Stand 2021).
