Produktübersicht
Nice-Tech bietet zwei spezielle Silizium-Ätzsysteme für unterschiedliche Wafergrößen an, die beide auf der ICP-Technologie basieren und auf die IC-Massenproduktion zugeschnitten sind.
12-Zoll-System (SES-12)
Konzentriert sich auf 12-Zoll-IC-Front-End-Prozesse (FEOL). Es besteht aus ICP-Ätzkammern und einem Transfermodul und deckt Siliziumätzen, dielektrisches Ätzen, Gateätzen, W-Recess und SADP ab und ist für die hochpräzise Strukturierung von Logik- und Speichergeräten konzipiert.
8-Zoll-System (SES-8)
Ein Mehrkammersystem für 8{{4}Zoll-Fabriken, das sich auf Gate-Prozesse konzentriert. Es gewährleistet eine Ätzgleichmäßigkeit von weniger als oder gleich 5 % innerhalb-Wafer und Wafer-zu Wafer, eine hervorragende Partikelkontrolle und unterstützt AA, STI, Abstandshalter und W-Aussparung.
Vorteile
Breite Prozessabdeckung
Wir haben hier zwei Hauptkonfigurationen. Das 12-Zoll-System übernimmt problemlos alle möglichen FEOL-Prozesse. Was das 8-Zoll-Modell betrifft? Es konzentriert sich auf Gate- und verwandte Prozesse und passt perfekt zu Knoten mit einer Größe von 0,11 μm und mehr.
Hohe Präzision und Stabilität
Präzision zeichnet diese Systeme aus. Das 12-Zoll-Modell bietet erstklassige Gleichmäßigkeit und Ätzselektivität – genau das, was fortschrittliche Prozesse erfordern. Auch die 8-Zoll-Version kann sich behaupten: geringe Gleichmäßigkeitsabweichung und strenge Partikelkontrolle, sodass Sie sich auf konsistente Ergebnisse verlassen können.
Massen-Produktion und Kosten-Effizienz
Und das Beste: Beide sind serienreif. Der 12-Zoll ist für große-Produktionslinien konzipiert, was für hohe Stückzahlen sinnvoll ist. Der 8-Zoll-Bildschirm ist jedoch eine kluge Wahl, wenn Sie die Kapazität erweitern – er spart sowohl Platz als auch Kosten, was sich immer positiv auf den Betrieb auswirkt.
Anwendung
IC FEOL-Herstellung
12-Zoll-System für 12-Zoll-Logik-/Speicher-FEOL-Prozesse; 8-Zoll-System zum Ätzen von 8-Zoll-Gates.
Erweiterte Prozesse
12-Zoll-System unterstützt SADP/W-Aussparung; Das 8-Zoll-System eignet sich für STI/Spacer-Prozesse.
Kapazitätserweiterung
12-Zoll lässt sich in große Fabs integrieren; 8-Zoll bietet kostengünstige Unterstützung für mittelgroße bis kleine Fabriken.
Parameter
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Kategorie |
12-Zoll-Siliziumätzsystem |
8-Zoll-Siliziumätzsystem |
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Wafer-Kompatibilität |
12-Zoll (300 mm) IC-Wafer, maßgeschneidert für Massenproduktionslinien |
8-Zoll-IC-Wafer; kompatibel mit 0,11 μm und fortschrittlichen Technologieknoten |
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Kammerkonfiguration |
ICP-Ätzkammern + Transfermodul |
ICP-Ätzkammern + Transfermodul; Mehrkammerdesign für die Massenproduktion |
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Schlüsselprozessfunktionen |
Siliziumätzen, dielektrisches Ätzen, Gateätzen, W-Aussparung, SADP |
Gate-Ätzung, AA, STI, Spacer-Ätzung, W-Aussparung |
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Ätzeinheitlichkeit |
Hervorragende Gleichmäßigkeitskontrolle (erfüllt erweiterte Knotenpräzisionsstandards) |
Weniger als oder gleich 5 % innerhalb des-Wafers; Weniger als oder gleich 5 % Wafer-zu-Wafer |
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Partikelkontrolle |
Strenge Partikelkontrolle für hohe Produktausbeute |
Hervorragende Partikelkontrolle für eine stabile Massenproduktion |
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Industrielle Compliance |
Geeignet für die Massenproduktion von 12-Zoll-ICs; entspricht den Standards der Halbleiter-Massenproduktion |
Unabhängiges optimiertes Design; Erfüllt 8-Zoll-Fabrikflächen und Kostenanforderungen für die Kapazitätserweiterung |
FAQ
F: Welche Wafergrößen unterstützen die beiden Systeme?
A: Das 12-Zoll-System unterstützt 12-Zoll-IC-Wafer (300 mm) und das 8-Zoll-System unterstützt 8-Zoll-IC-Wafer.
F: Welche Kernprozesse decken sie ab?
A: Das 12-Zoll-System deckt Siliziumätzung, dielektrische Ätzung, SADP, W-Aussparung usw. ab; Das 8-Zoll-System konzentriert sich auf Gate-Ätzung und unterstützt STI, Spacer-Ätzung usw.
F: Mit welchen Technologieknoten sind sie kompatibel?
A: Das 12-Zoll-System passt sich an fortschrittliche Technologieknoten an; Das 8-Zoll-System ist mit erweiterten Knoten ab 0,11 μm kompatibel.
F: Sind beide Systeme für die Massenproduktion geeignet?
A: Ja. Das 12-Zoll-System eignet sich für große Produktionslinien, während das 8-Zoll-System platzsparend und kostengünstig für die Massenproduktion ist.
F: Wie gleichmäßig ist die Ätzung beim 8-Zoll-System?
A: Die Gleichmäßigkeit innerhalb-des Wafers beträgt weniger als oder gleich 5 % und die Gleichmäßigkeit zwischen den Wafern -und weniger als oder gleich 5 %.
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