Produktübersicht
Die Widerstandsverdampfungssysteme von Nice-Tech sind speziell-angefertigte PVD-Geräte für die -Qualität von Dünnfilmabscheidungen-zwei Kernmodelle, die Ihre Anforderungen abdecken: das RES 100 und das RES 200I.
Der RES 100 ist ein kompakter Allrounder (führt sowohl Elektronenstrahl- als auch Widerstandsverdampfung durch) mit einem platzsparenden Design-und eignet sich perfekt, wenn in Ihrem Labor oder Produktionsbereich nur wenig Platz zur Verfügung steht. Der RES 200I? Es handelt sich um einen Spezialisten, der speziell für professionelle Indium-Bump-Abscheidungsaufgaben entwickelt wurde.
Beide Modelle verfügen über ausgereifte Widerstandsheiztechnologie, erstklassige Vakuumkomponenten-und Vikaitechs eigenes vollautomatisches VKOS-Steuerungssystem-, sodass Sie jederzeit eine gleichmäßige und zuverlässige Filmbildung erhalten. In Bezug auf die Leistung- liefern sie: ±3 % Beschichtungsgleichmäßigkeit, ±2 % Wiederholgenauigkeit und ein Endvakuum von 1E-5 Pa. Ganz gleich, ob Sie Forschungs- und Entwicklungstests im Labor oder eine spezialisierte Industrieproduktion durchführen, diese Systeme erfüllen alle Anforderungen.
Vorteile
Gezielte Leistung
RES 200I optimiert die Indium-Bump-Abscheidung beim Inversionsschweißen; RES 100 führt eine Dual-Elektronenstrahl-/Widerstandsverdampfung durch und eignet sich für kleine -Batch-Aufgaben mit mehreren Materialien-.
Kompakt und effizient
Die Grundfläche des RES 100 von 3,15 m × 2,4 m × 2,2 m spart Platz. Beide Modelle zeichnen sich durch eine einfache Wartung und einen hohen Automatisierungsgrad aus, wodurch manuelle Arbeit eingespart wird.
Stabile Qualität
Verwendet Kernkomponenten erstklassiger Marken + präzise Temperaturregelung (RES 100: -50 bis 500 Grad; RES 200I: -80 bis 200 Grad) für eine gleichbleibende Filmreinheit.
Flexible Anpassung
Funktioniert mit In, Metallen und Dielektrika. Geeignet für kleine-Serienproduktion/Forschung und Entwicklung; optionale Kuppel-/Plattenhalterungen für verschiedene Werkstücke.
Anwendungen
Spezialisierte Industrieprozesse:RES 200I für die Indium-Bump-Abscheidung beim Inversionsschweißen (Montage elektronischer Komponenten).
Labor & Forschung und Entwicklung:RES 100 unterstützt die Forschung und Entwicklung neuer Materialien (Präzisionsoptik, Mikroelektronik) in kleinen Mengen an Universitäten/Instituten.
Kleine-Serienproduktion:Kundenspezifische elektronische Komponenten, optische Teile, biomedizinische Geräte (hoch{0}}dünne Filme).
Infrarot & Optoelektronik:Spezialisierte Dünnschichtlösungen für Infrarotdetektoren und optoelektronische Geräte.
Parameter
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Kategorie |
Artikel |
T360 (kompakter Typ) |
T550I (Spezialisierte Indiumverdampfungsart) |
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Allgemeine Informationen |
Kerntechnologie |
PVD-Widerstand/Elektronenstrahlverdampfung |
PVD-Widerstandsverdampfung (Indium Bump Deposition) |
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Kontrollsystem |
Vollautomatisches VKOS-Steuerungssystem (selbst-entwickelt) |
Vollautomatisches VKOS-Steuerungssystem (selbst-entwickelt) |
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Kernkomponenten |
International bekannte Markenteile (Vakuumpumpe, Manometer usw.) |
International bekannte Markenteile (Vakuumpumpe, |
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Leistungsparameter |
Gleichmäßigkeit der Beschichtung |
±3% |
±3% |
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Wiederholbarkeit der Beschichtung |
±2% |
±2% |
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Ultimatives Vakuum |
1E-5Pa |
1E-5Pa |
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Temperaturkontrollbereich |
-50 Grad ~500 Grad |
-80 Grad ~200 Grad |
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lon Quelle |
Kaufman&Hall-Ionenquelle |
Kaufman&Hall-Ionenquelle |
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Konfigurationsdetails |
Kammertyp |
Einzelne kompakte Kammer |
Einzelne Spezialkammer |
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Vorrichtungen |
Kuppel und Platte |
Spezialvorrichtung für die Indiumabscheidung |
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Schlüsselfunktionen |
Dual-Mode-Verdampfung (Widerstand/Elektronenstrahl); kleine-Stapelverarbeitung |
Professionelle Indium-Bump-Abscheidung; Inversionsschweißen |
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Physikalische Dimensionen |
Platzbedarf (LxBxH) |
3,15m x 2,4m x 2,2m |
3,3m x 2,7m x 2,2m |
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