Protonenaustauschofen

Protonenaustauschofen

Der Proton Exchange Furnace ist ein hochpräzises thermisches Verarbeitungsgerät – es ist speziell auf die Herstellung von Hochgeschwindigkeits-Photonikgeräten zugeschnitten. Es basiert auf einem synergistischen Kontrollmechanismus mit zwei Temperaturzonen und steuert präzise Protonenaustauschreaktionen in optischen Materialien wie Lithiumniobat. Ja, dadurch entstehen effizient verlustarme integrierte optische Wellenleiterstrukturen, die eine solide Grundlage sowohl für Forschung und Entwicklung als auch für die Massenproduktion von hochleistungsfähigen photonischen Geräten legen.
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Beschreibung

Produktübersicht

 

Der Proton Exchange Furnace ist ein hoch{0}}präzises Wärmeverarbeitungsgerät -, das speziell auf die Herstellung von Hochgeschwindigkeits-Photonikgeräten zugeschnitten ist. Es basiert auf einem synergistischen Kontrollmechanismus mit zwei Temperaturzonen und steuert präzise Protonenaustauschreaktionen in optischen Materialien wie Lithiumniobat. Ja, dadurch entstehen effizient verlustarme integrierte optische Wellenleiterstrukturen und legen eine solide Grundlage sowohl für Forschung und Entwicklung als auch für die Massenproduktion von hochleistungsfähigen photonischen Geräten.


Es verfügt über ein kompaktes vertikales Doppelrohrdesign, das den parallelen Betrieb von zwei Prozessrohren ermöglicht und gleichzeitig Installationsraum spart -, was die Verarbeitungseffizienz erheblich steigert. Darüber hinaus ist es mit einem intelligenten automatisierten Prozessmanagementsystem ausgestattet, das wichtige Parameter wie Temperatur und Prozesszeit genau steuert. Das bedeutet, dass es die strengen Umweltanforderungen von Protonenaustauschprozessen vollständig erfüllt. Ganz gleich, ob Sie an Universitäten oder Forschungsinstituten kleine -Serien in der Forschung und Entwicklung oder in Unternehmen in großem Maßstab -produzieren, es bietet stabile und zuverlässige Prozessunterstützung. Dadurch wird die Leistung optischer Materialien effektiv optimiert und gleichzeitig die Zuverlässigkeit und Ausbeute photonischer Geräte erhöht.

 

Anwendungen

 

Der Lithiumniobat-Protonenaustausch für verlustarme Wellenleiter - Masse-erzeugt PICs/Modulatoren/Schalter (5G/6G, Hochgeschwindigkeits-Rechenzentren).

Verarbeitet Lithiumniobat-Splitter/-Koppler - mit geringer Einfügungsdämpfung, stabil für FTTH-/Fernkommunikation-.

Flexibel für Universitäten/Institute: Protonenaustauschforschung (z. B. Lithiumtantalat), Entwicklung quantenphotonischer Geräte.

Unterstützt Wellenleitersensoren/Laserformer - steigert die Präzision bei der industriellen Laserbearbeitung/mikroelektronischen Verpackung.

 

Vorteile

 

  1. Effizient und platzsparend-Einsparung: Vertikaler Aufbau mit zwei-Röhren - spart Platz, läuft parallel und steigert die Chargeneffizienz!
  2. Hochpräzise Temperaturregelung für Lithiumniobat: präzise Wärmebehandlung, gleichmäßiger Protonenaustausch, viel weniger Defekte.
  3. Intelligentes Prozessmanagement Intelligentes System automatisiert Temperatur-/Dauerparameter - Super einfach zu verwenden, erfüllt strenge Prozessanforderungen.
  4. Starke Szenariokompatibilität Funktioniert sowohl für die Forschung an Universitäten/Instituten als auch für die industrielle Produktion - spart Kosten für den Austausch von Geräten.

 

Parameter

 

Artikel

Details

Wafergröße

2-4 Zoll

Temperaturbereich

200 Grad -300 Grad

Genauigkeit der Temperaturregelung

Kleiner oder gleich ±0,5 Grad

Länge der Zone konstanter Temperatur (flache Zone)

300 mm

Anwendbarer Prozess

Lithiumniobat-Protonenaustauschverfahren

Gerätestruktur

Doppelte-vertikale kompakte Struktur mit Rohren (unterstützt Parallelität).
Betrieb von Dual-Prozessrohren)

 

FAQ

 

Was ist der anwendbare Wafergrößenbereich dieses Protonenaustauschofens?

Es unterstützt 2{1}}4-Zoll-Wafer -, die sich perfekt für die Verarbeitung photonischer Lithiumniobat-Geräte eignen, sei es für die Laborforschung oder die Produktion kleiner bis mittlerer Serien.

Welche Temperaturparameter deckt das Gerät ab und wie genau ist die Temperaturregelung?

Der Temperaturbereich liegt zwischen 200 und 300 Grad, die Regelgenauigkeit beträgt höchstens ±0,5 Grad. Diese hohe Präzision hält den Protonenaustausch stabil, sodass die Leistung des Lithiumniobat-Wellenleiters konstant bleibt.

Ist das Gerät nur für Lithiumniobat geeignet? Kann es an andere optische Materialien angepasst werden?

Seine Hauptanwendung ist der Lithiumniobat-Protonenaustausch, aber für andere Materialien (wie Lithiumtantalat) können wir eine Anpassung auf der Grundlage Ihrer Forschungs- oder Produktionsanforderungen besprechen -, um den individuellen Protonenaustauschanforderungen gerecht zu werden.

Welche Vorteile bringt die „vertikale Doppelrohr-Kompaktstruktur“ in der Praxis mit sich?

Diese Struktur spart Installationsraum und ermöglicht den Parallelbetrieb von zwei Prozessrohren - steigert die Verarbeitungseffizienz! Ideal für Batch-Verarbeitungen wie die Massenproduktion in Unternehmen oder Hochfrequenz-Laborexperimente.

Wie lang ist die Zone konstanter Temperatur und wie wirkt sie sich auf den Prozess aus?

Die Zone mit konstanter Temperatur (flach) beträgt 300 mm. Es sorgt für eine gleichmäßige Wafer-Wärmeverteilung und vermeidet einen ungleichmäßigen Protonenaustausch aufgrund von Temperaturunterschieden -, sodass die Qualität des integrierten optischen Wellenleiters gewährleistet ist.

Können die Geräte in bestehende intelligente Produktionslinien oder Experimentierplattformen integriert werden?

Ja! Es verfügt über ein automatisiertes Prozessmanagementsystem, das mit den meisten vorhandenen intelligenten Linien/Plattformen kompatibel ist - nahtlose Verbindung für Parameterüberwachung und Prozesssteuerung.

 

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