Produktübersicht
Mithilfe von TC Wafer können Echtzeit-Temperaturmessungen an bestimmten Stellen des Wafers und der gesamten Temperaturverteilung des Wafers durchgeführt werden. Darüber hinaus kann es zur kontinuierlichen Überwachung vorübergehender Temperaturänderungen während thermischer Prozesse verwendet werden, einschließlich Erhitzen, Abkühlen, stationären Prozessen und Verzögerungszeiten (durch Erfassung von Daten zur Ofentemperaturgleichmäßigkeit zur Verwaltung der Ausbeute usw.). Viele Hochtemperaturverfahren in der Halbleiterfertigung erfordern genaue Temperaturmesseigenschaften. Ein TC-Wafer mit hervorragender Stabilität und hoher Messgenauigkeit ist daher unerlässlich.
Anwendungen
• Halbleiterfertigungsanlagen (Fabs), Siliziumwaferanlagen, Waferfertigungsanlagen
• Verpackungs- und Prüfanlagen
• Ofen/PVD/CVD/RTP/Foto/Sputtern/Ofen/Heizplatte...
• Hersteller von Halbleitergeräten
• Überwachung der Kammertemperatur in Hochtemperatur-Prozessanlagen
Vorteile
• Messgenauigkeit: ±1,1 Grad / ±0,4 %
• Betriebsumgebung: Normale Bedingungen / Vakuumumgebung
• Erweiterte Softwarefunktionen für die Echtzeitanzeige von Temperaturfeldprofilen und Heizkurven
• Automatische Speicherung der Messdaten
Parameter
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TYP |
TCW-6-5 |
TCS-8-5 |
TCSW-8-9 |
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Temperaturbereich |
RT-1200 Grad |
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Wafergröße |
6 Zoll |
8 Zoll |
8 Zoll |
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Testpunkte |
5 |
5 |
9 |
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Wafermaterial |
Silizium |
Silizium |
Silizium |
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Präzision des Temperaturtests |
± 1,1 Grad / ±0,4 % |
± 1,1 Grad / ±0,4 % |
± 1,1 Grad / ±0,4 % |
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Layout |
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FAQ
Was ist ein TC-Wafer?
Ein TC-Wafer ist ein Temperaturmessgerät, das in der Halbleiterfertigung verwendet wird. Es kann die Temperatur bestimmter Stellen auf einem Wafer sowie die gesamte Temperaturverteilung in Echtzeit erfassen. Es kann auch vorübergehende Temperaturänderungen während Heiz- und Kühlprozessen überwachen.
Was sind die verschiedenen Modelle von TC-Wafern und was sind ihre wesentlichen Parameterunterschiede?
Es stehen drei Modelle zur Verfügung, wobei die Hauptunterschiede in der Wafergröße und der Anzahl der Testpunkte liegen: TCW-6-5 (6 Zoll, 5 Testpunkte), TCS-8-5 (8 Zoll, 5 Testpunkte) und TCSW-8-9 (8 Zoll, 9 Testpunkte). Alle Modelle haben einen Temperaturbereich von Raumtemperatur bis 1200 Grad und eine Genauigkeit von ±1,1 Grad/±0,4 %.
Für welche Szenarien eignen sich TC-Wafer?
Sie eignen sich für Halbleiter-Wafer-Fabriken, Verpackungs- und Testanlagen sowie Hersteller von Halbleitergeräten. Sie können die Hohlraumtemperatur von Hochtemperatur-Prozessgeräten wie Ofenrohren, PVD und CVD überwachen.
Was sind die wichtigsten technologischen Vorteile?
Es zeichnet sich durch hochpräzise Messungen, Unterstützung für den Einsatz in Raumtemperatur-/Vakuumumgebungen, Echtzeitanzeige von Temperaturfeldern und Heizkurven sowie die automatische Speicherung von Messdaten aus.
TC-Wafer-Kooperationsprozess
Anforderungsbestätigung:Stellen Sie Szenario/Größe/Testpunkte bereit und ermitteln Sie das kompatible Modell
Lösungsangebot:Lösung + Angebot innerhalb von 3 Tagen
Vertragszahlung:Vertrag unterschreiben und Vorauszahlung leisten, mit der Vorbereitung der Ware beginnen
Lieferung und Abnahme: SStandard 5-7 Tage / kundenspezifisch 10-12 Tage für Warenvorbereitung und Lieferung, Restzahlung bei Abnahme innerhalb von 3 Tagen (Rückgabe und Umtausch bei defekten Artikeln möglich)
Kundendienst:-1-Jahre Garantie + 24/7 Beratung, Langzeitkunden genießen Rabatte / Inspektionen
Beliebte label: TC-Wafer, China TC-Wafer-Hersteller, Lieferanten
