Optischer 3D-Profiler

Optischer 3D-Profiler

Unser optischer 3D-Profiler ermöglicht in Kombination mit hochpräzisem Scannen und hochpräzisen Algorithmen eine Analyse der Oberflächentopographie im Nanometer- bis Millimeterbereich, einschließlich Rauheit, Stufen, Oberflächenprofil, Krümmung und anderen Parametern. Aufgrund seiner berührungslosen (nicht-zerstörungsfreien Prüfung), seiner hohen Präzision und des schnellen Scannens wird es häufig in Halbleitern, optischen Materialien, Biochips, Metalloberflächen, Präzisionsbearbeitung und anderen Branchen eingesetzt.
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Beschreibung

Produktübersicht

 

Unser optischer 3D-Profiler ermöglicht in Kombination mit hochpräzisem Scannen und hochpräzisen Algorithmen eine Analyse der Oberflächentopographie im Nanometer- bis Millimeterbereich, einschließlich Rauheit, Stufen, Oberflächenprofil, Krümmung und anderen Parametern. Aufgrund seiner berührungslosen (nicht-zerstörungsfreien Prüfung), seiner hohen Präzision und des schnellen Scannens wird es häufig in Halbleitern, optischen Materialien, Biochips, Metalloberflächen, Präzisionsbearbeitung und anderen Branchen eingesetzt.

 

Vorteil

 

Vier verschiedene Messmodi-Hellfeldbeobachtung, Weißlichtinterferometrie, konfokale Mikroskopie und Tiefenschärfefusion-sind in einem einzigen Mikroskop integriert, um den Messanforderungen in verschiedenen Szenarien gerecht zu werden.

01

Analyseergebnisse können in verschiedenen Messmodi mit einer Genauigkeit im Sub-nanometer- bis Nanometerbereich erzielt werden.

02

Der einzigartige KI-Algorithmus analysiert das Muster, um eine Ergebnisausgabe ohne Verzögerung zu erzielen und eine Ergebnismessung mit nur einem Klick zu erzielen.

03

Wir bieten „modulare“ maßgeschneiderte funktionale Produkte, um die Workflow-Aufgaben verschiedener spezifischer Szenarien zu erfüllen, unabhängig davon, ob es sich um spezielle Probenanforderungen oder funktionale Anforderungen handelt.

04

Verfügt über ein revolutionäres integriertes Design, das das optische System und die Sensoren in einem einzigen Gehäuse vereint. Dieses kompakte Design verbessert nicht nur die Benutzerfreundlichkeit, sondern erhöht auch die Systemstabilität erheblich und gewährleistet eine zuverlässige Leistung unter allen Betriebsbedingungen.

05

 

Anwendung

 

Dieser optische 3D-Profiler erfüllt mit seiner hervorragenden optischen Erkennungstechnologie die strengen Anforderungen verschiedener Branchen und Anwendungsszenarien. Ob Biochip, Halbleiter oder optische Materialerkennung – wir bieten maßgeschneiderte Beobachtungs- und Messlösungen, die Ihren spezifischen Anforderungen entsprechen. Diese Serie verfügt nicht nur über fortschrittliche 3D-Bildgebungstechnologie, sondern verfügt auch über zahlreiche innovative Funktionen, die den Benutzern ein umfassendes Beobachtungserlebnis bieten.

 

Parameter

 

Messarten

Weißlichtinterferenz / Tiefenschärfefusion / Konfokal

Beobachtungstypen

Bilder (2D/3D), Morphologie, Abmessungen, Rauheit, Dicke usw.

Lichtquelle

Weißlicht-LED, Spektralbereich: 420–700 nm

Nasenstück

6-Positionen @ voll motorisiert; Wiederholpositionierungsgenauigkeit: 0,001 Grad

Kamera

1936 × 1464 (132,2 fps)

Z-Tisch-Verfahrweg/Scanbereich

Verfahrweg: 100 mm; Scanreichweite: 10 mm

Rauheit RMS Wiederholbarkeit

0,008 nm

Schrittwiederholbarkeit

0.1 % (10 μm)

XY-Tischbereich

100 mm × 100 mm bei voll motorisiert

Tipp:-Kippen Sie die Bühne

±3 Grad Neigungsverstellung bei voll motorisiertem Antrieb

Gewicht

75 kg

Abmessungen

516 mm × 430 mm × 550 mm

Umweltanforderungen

Empfohlene Umgebungstemperatur 23 Grad, Luftfeuchtigkeit 20 % - 50 %

 

ZertifikatIon

 

Die optische Ausrüstung unseres Unternehmens (einschließlich optischer Verarbeitungsausrüstung und optischer Inspektionsausrüstung) hat erfolgreich die ISO-Zertifizierung erhalten.

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